私の「舞台」

リーダーの経験を通じて
大きく成長。
「気化システムの第一人者」
をめざす

「大流量で、コンパクト」
相反する性能の両立に向けた挑戦

入社4年目に液体材料気化システムの開発プロジェクトを先輩から引継ぎ、プロジェクトリーダーとなりました。半導体の基となるウエハー（円盤状の板材料）上に、回路を形成する材料で膜を張る成膜工程において、その材料を気化させる役割を担う重要な製品です。また堀場エステックは、半導体製造時に使用する様々なガスの流量を制御するマスフローコントローラーで世界トップクラスのシェアを誇るなど、業界内で高いブランド力を発揮しています。その中でリーダーとして製品開発を率いていくポジションを与えていただき、身が引き締まるとともに、大きな喜びを感じました。
半導体製造工程では、ウェハーの処理を短時間で行い、生産性を高めることが求められています。こうした課題を解決するために、一度に多くの材料気化ができるような「大容量化」と、またお客様がより効率的に設備のレイアウトができるような「コンパクト化」の両立をめざしました。難しい取組みでしたが、流体解析や評価で得た結果と自社がもつベースの技術を組み合わせることで大流量化を実現し、安全機構の一部を気化器と一体型にすることでコンパクトにサイズを抑えることにも成功しました。出来上がった評価品の1号機がお客様に届いたときの感動は、今でも鮮明に覚えています。

私の技術者としてのこだわり、それはデータを徹底的に突き詰めることです。実験が思うように進まない時も、圧力や温度環境、測定時間といった前提条件を確認・修正しながら、それぞれの計測データを比較することで改善点を見つけ出すことができました。こうした努力の積み重ねを通じて得た知見を、プロジェクトのメンバーを始めとした周りの人たちにも伝えていきたいと思います。
今後は、光ファイバーや食品メーカーの製造工程といった市場にも着目しています。また半導体市場も、いまはハイエンドの製品が中心ですが、もう少しローエンドの製品が求められる領域にもビジネスを広げていくことに挑戦していきたいと思います。そのために社内では「気化システムと言えば、Hさん」と呼ばれる存在になりたいと思います。入社したころは、20台半ばではCADで図面を書くことを中心に担当者としての役割をこなしていくのであろうと考えていましたが、プロジェクトリーダーとしての経験などを通じて、自分の意識を大きく変えることができました。決して容易な道ではありませんが、技術者としてのこだわりとリーダーとしての誇りを胸に、さらに上のステージへ駆けあがることをめざします。